mems键合工艺简介.pptxVIP

会计学 1 MEMS键合工艺简介 键合 第1页/共16页 键合 第2页/共16页 键合工艺 键合：静电键合、热键合、“复合”键合 键合的目的是通过外界作用将多个基片“粘接” 不同的键合方式，键合原理不同 第3页/共16页 静电键合 静电键合：Wallis和Pomerantz于1969年提出，静电键合可把金属、合金、半导体与玻璃键合 原理： 硼硅玻璃、磷硅玻璃在一定 温度下软化，行为类似电解 质，外加电压下，正离子 （Na）向阴极漂移，在阳极形成空间电荷区， 外加电压落于空间电荷区，漂移停止 如硅接阳极，玻璃接阴极，硅玻璃接触， 在界面形成的负空间电荷区与硅发生化学 反应，形成化学键Si-O-Si，完成键合 可通过检测电流监测键合 是否完成 第4页/共16页 工艺及工艺参数的影响 温度： 低温：没有导电电流，键合无法进行 高温：玻璃软化，无法键合 一般：180~500度 电压： 低压；静电力减弱， 无法键合 高压：击穿玻璃 一般：200~1000伏 静电键合 第5页/共16页 键合产生的应力：热膨胀系数相近、热匹配 电极形状：点接触、平行板电极 非导电绝缘层的影响；减弱静电力，460nm后，键合失效 表面粗糙度的影响 极化区中残余电荷的作用；键合完成后在极化区内残余的电荷形成静电力，加强键合 静电键合 第6页/共16页 例子 第7页/共16页 键合工艺 热键合：高温处理后，硅片直接键合在一起。Lasky提出 硅直接键合（SDB） 硅熔融键合（SFB） 直接样品键合（DWB） 工艺： 表面处理 表面帖合 高温处理 对键合面要求： 平整度：无凸起 粗糙度：Ra0.6nm 清洁度：无沾污 第8页/共16页 原理：三个阶段 室温~200度：表面吸附的OH根在接触区产生氢键，随温度增高，OH根得到热能增大迁移率，氢键增多，硅片产生弹性形变，键合强度增加。在200~400度间，形成氢键的两硅片的硅醇键聚合反应，产生水合硅氢键，键合强度迅速增大 Si-OH+HO-Si——Si-O-Si+H2O 500~800度：水基本不扩散，OH根破坏桥接氧原子的一个键，使之转换为非桥接氧原子，使键合面带负电荷 HOH+ Si-O-Si——2H++2Si-O- 800度以上：水扩散显著，间隙和空洞中的水扩散到氧化硅中，产生局部真空空洞，硅片发生塑性形变消除空洞。SiO2产生粘滞流动，消除微间隙。大于1000度后，临近原子相互反应产生共价键，键合完成 第9页/共16页 工艺及参数影响 表面处理的作用：吸附OH根很关键 NH4OH、H2SO4、等离子体处理 温度的影响； 与温度有关的孔洞；沾污碳氢化合物随温度生高（200~800度）释放产生孔洞，大于1100高温退火或先800度退火处理可消除 键合强度：随温度生高增加 界面氧化层的稳定：三种机制解释 表面平整度： 沾污粒子：1微米粒子产生4.2mm孔洞 足够清洗、超净环境、平整表面、高温处理、 低温键合：在小于500度下完成键合 第10页/共16页 复合键合 “复合”键合 原理利用中间层之间的反应完成键合 带硅化物的键合：NiSi，PtSi，TiSi2等 金硅键合：利用金硅互熔点低的特点（400度左右） 非晶硅 第11页/共16页 金硅共晶键合 第12页/共16页 键合技术比较 第13页/共16页 键合对准 第14页/共16页 键合质量检测 红外检测 SEM观察 划片 第15页/共16页