半导体专业术语(English).pdfVIP

专业术语 1. acceptance testing (WAT: wafer acceptance testing) 2. acceptor: 受主，如B ，掺入Si 中需要接受电子 3. ACCESS ：一个EDA （Engineering Data Analysis ）系统 4. Acid ：酸 5. Active device：有源器件，如MOS FET （非线性，可以对信号放 大） 6. Align mark(key) ：对位标记 7. Alloy ：合金 8. Aluminum ：铝 9. Ammonia ：氨水 10. Ammonium fluoride：NH4F 11. Ammonium hydroxide ：NH4OH 12. Amorphous silicon ：α-Si ，非晶硅（不是多晶硅） 13. Analog ：模拟的 14. Angstrom ：A （1E-10m）埃 15. Anisotropic：各向异性（如POLY ETCH ） 16. AQL(Acceptance Quality Level) ：接受质量标准，在一定采样下， 可以95%置信度通过质量标准 （不同于可靠性，可靠性要求一定时 间后的失效率） 17. ARC(Antire