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半导体传感器的原理、应用及进展 摘要：本文要紧评述半导体传感器例如磁敏，色敏，离 子敏，气敏，湿敏的传感器的原理，各行业的应用及目前的进展 前景。 关键词：半导体传感器，磁敏、色敏、离子敏、气敏、湿敏、 工作原理、现状、进展趋势、应用 一、概述 由于电子技术的飞速进展，以半导体传感器为代表的各类 固态传感器接踵问世，半导体传感器以其易于实现集成化，微型 化，灵敏度高等诸多优势，一直引发世界各国科学家的重视和爱 好，而且愈来愈多的应用于各个行业。 半导体传感器利用半导体材料易受外界条件阻碍的物理特 性制成的传感器，器种类繁多，它利用近百种物理效应和材料的 特性，具有类似于人眼、耳、鼻、舌、皮肤等多种感觉功能。 半导体传感器的优势是灵敏度高、响应速度快、体积小、重 量轻、便于集成化、智能化，能使检测转换一体化。半导体传感 器的要紧应用领域是工业自动化、遥测、工业机械人、家用电器、 环境污染监测、医疗保健、医药工程和生物工程。 二、分类 一、磁敏传感器 磁敏传感器的工作原理 磁敏传感器是利用半导体材料中的自由电子或空穴随磁场 改变其运动方向这一特性而制成的，总的来讲磁敏传感器确实是 基于磁电转换原理的传感器。磁敏传感器要紧有磁敏电阻、磁敏 二极管、磁敏三极管和霍尔式磁敏