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- 2023-01-16 发布于江苏
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半导体制造工艺张渊 主编
张渊 主编半导体制造工艺高职高专“十二五”电子信息类专业规划教材
第1章 绪 论
第1章 绪 论1.1 引言1.2 基本半导体元器件结构1.3 半导体器件工艺的发展历史1.4 集成电路制造阶段1.5 半导体制造企业1.6 基本的半导体材料1.7 半导体制造中使用的化学品1.8 芯片制造的生产环境
1.1 引言图1-1 集成电路组成的抽象结构图
1.1 引言图1-2 典型的半导体芯片的制造流程
1.2 基本半导体元器件结构图1-3 由二极管MOS场效应晶体管和电阻组成的SRAM电路图
1.2 基本半导体元器件结构1.2.1 无源元件结构1. 集成电路
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