X射线能谱分析PPT课件.pptVIP

9 X射线能谱分析 9.1能谱仪的主要组成部分; 由探针器、前置放大器、脉冲信号处理单元、模数转换器、多道分析器、微型计算机及显示记录系统组成，是一套较为复杂的电子仪器。组成结构见图2-93。;9 X射线能谱分析 9.2能谱仪的工作原理; 多道分析器有一个由许多存储单元（称为通道）组成的存储器。与X光子能量成正比的时钟脉冲数按大小分别进入不同存储单元、每进入一个时钟脉冲数，存储单元记一个光子数，因此通道地址和X光子能量成正比，而通道的计数为X光子数。最终得到以通道（能量）为横坐标、通道计数（强度）为纵坐标的X射线能量色散谱（图2－95b），并显示于显像管荧光屏上。;;1、分析元素范围 能谱仪分析的元素范围为： 有Be窗口的范围为11Na～92U。 无窗或超薄窗口的为4Be～92U。 2、分辨率 能谱仪的分辨率是指分开或识别相邻两个谱峰的能力，可用能量色散谱的谱峰半高宽来衡量，也可用ΔE/E的百分数来表示。半高宽越小，表示能谱仪的分辨率越高。目前能谱仪的分辨率达到130eV左右。 3、探测极限 能谱仪能测出的元素最小百分浓度称为探测极限，与分析的元素种类、样品的成分等有关，能谱仪的探测极限约为0.1-0.5%。;9 X射线能谱分析 9.3能谱仪的主要性能指标;9 X射线能谱分析 9.3能谱仪的主要性能指标;9 X射线能谱分析 9.4