一种双层五边形电极的薄膜体声波谐振器.pdfVIP

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2023-02-06 发布于北京
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一种双层五边形电极的薄膜体声波谐振器.pdf

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本实用新型公开了一种双层五边形电极的薄膜体声波谐振器。所述薄膜体声波谐振器从上至下包括顶电极、压电层、底电极构成的压电振荡堆结构，以及支撑层（连接层）和衬底。本实用新型所述的顶电极由内外两层五边形构成，由同一圆周的内外界五边形经一定角度旋转获得。本实用新型所述的顶电极外层厚度高于内层五边形厚度，在边缘处形成台阶边框，其余位置均为平面，且内外五边形任意两边均不平行，从而形成非对称图形，使得横向寄生的声波产生衰减和分散。本实用新型通过设计电极层的形状尺寸，在不增加工艺步骤的前提上抑制谐振器的横向剪切

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212381184 U (45)授权公告日 2021.01.19 (21)申请号 202020707416.8 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 (22)申请日 2020