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- 2023-03-07 发布于四川
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本实用新型公开了一种硅棒开槽用磨削装置，其包括底座、设置于底座上用于夹持硅棒的硅棒夹持机构、设置于底座上用于实现硅棒夹持机构纵向进给的硅棒纵向移动机构、对应磨削工位设置的用于实现硅棒两侧面磨槽的磨槽组件、设置于底座上用于实现磨槽组件相对于磨削工位左右进给的磨槽进给机构，所述硅棒夹持机构与硅棒纵向移动机构连接，所述磨槽进给机构与磨槽组件连接，所述磨槽组件设置两组且对向设置于磨削工位的两侧。本实用新型采用一次装夹，一次成型磨削硅棒两表面，提高了硅棒磨削的加工精度及加工效率，提高了产能，大大提升后续组
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213289770 U
(45)授权公告日 2021.05.28
(21)申请号 202021578888.4
(22)申请日 2020.07.31
(73)专利权人 青岛高测科技股份有限公司
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