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- 2023-03-07 发布于四川
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本实用新型公开了一种溅射靶座，包括电机，所述电机与一不锈钢管相联接，所述不锈钢管外周沿中心线设置有至少两段磁轭，所述磁轭上配合联接有磁铁，所述不锈钢管外周套设在靶材，所述磁轭和磁铁位于靶材内周，本实用新型有效的解决磁钢重量重不好搬运、不好安装、不好加工的问题、解决磁钢生锈的问题，解决磁铁快速更换的问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213295491 U
(45)授权公告日 2021.05.28
(21)申请号 202021589055.8
(22)申请日 2020.08.04
(73)专利权人 厦门阿匹斯智能制造系统有限公
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