原创力文档- 3
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- 2023-03-07 发布于四川
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本实用新型公开了一种用于镀膜机的控温装置，包括真空炉，所述真空炉的内部底表面设置有蒸发源，所述真空炉的一侧内壁设置有第一加热器，所述真空炉的另一侧内壁设置有第二加热器，所述真空炉的内部上侧位置设置有第三加热器，所述第一加热器、第二加热器和第三加热器上均等距设置有多个加热管，所述第三加热器的下方设置有基片，所述真空炉的内壁对应基片的下表面后侧设置有多个膜厚仪，所述真空炉的内部顶表面设置有温度感应器，所述真空炉的外表面一侧连接有控制器。本实用新型中，炉内设有三个加热器，各加热器均由独立的加热管组成，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213266690 U
(45)授权公告日 2021.05.25
(21)申请号 202022227921.5
(22)申请日 2020.10.09
(73)专利权人 重庆亿博光电仪器有限公司
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