数控机床的检测装置.pptVIP

光 栅 （2）实现平均误差作用 莫尔条纹 → 大量光栅线纹干涉 → 误差平均效应 → 克服个别/局部误差 → 提高精度 （3）莫尔条纹移动与栅距移动成比例 光栅移动一个栅距d → 莫尔条纹沿垂直方向移动一 个间距w 若光栅移动方向相反，莫尔条纹移动方向也相反。 第六十三页，共一百二十一页。 光 栅 .3 光栅测量系统 光强信号变为同频率的电压信号 标尺光栅移动过程中，莫尔条纹交替出现由亮带到暗带、暗带到亮带，光强度分布近似余弦曲线，光电元件接收到的光通量忽大忽小，产生近似正弦曲线的电压信号 第六十四页，共一百二十一页。 光 栅 四倍频细分 第六十五页，共一百二十一页。 光 栅 鉴向倍频装置 d 第六十六页，共一百二十一页。 第六十七页，共一百二十一页。 光 栅 鉴向倍频电路作用: 辨向、细分，提高光栅的分辨率。 四倍频细分： 就是从一个莫尔条纹之产生一个电脉冲信号，变成为 0°、90°、180°、270°都有脉冲输出，一个周期内 送出4个脉冲。分辨率提高4倍。 分辨率取决于光栅栅距d和鉴向倍频的倍数n，即： 分辨率＝d/n。 例：光栅线纹密度50条/mm（栅距20μm），经4倍 频处理后，线纹密度提高到200条/mm，工作台每移动 5μm送出一个脉冲，即分辨率