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洁净室简介 提纲 一、洁净室之定义 二、洁净室的等级 三、洁净室所要控制的内容 四、洁净室之分类 五、洁净室气流之流动 六、洁净室之构成 一、洁净室之定义 洁净室(Clean Room)，也叫无尘室。 「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、 细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速 度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所 给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内 均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特 性。 洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气 的洁净度及温、湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造， 此空间我们称之为「洁净室」。 污染源知识 1、发尘量 洁净室内的发尘量，来自设备的可考虑通过局部排风排除，不流入室内； 产品，材料等在运送过程中的发尘与人体发尘量相比，一般极小，可忽略；由于 金属半壁（彩钢夹心板）的应用来自建筑表面的发尘也很少，一般占10%以下， 发尘主要来自人，占90%左右。在人的发尘量上，由于服装材料和样式的改进， 发尘绝对量也不断减少。 A 、材质：棉质发尘量最大，以下依次为棉、的确良、去静电纯涤纶、尼龙。 B 、样式：大挂式发尘量最大，上下分装型次之，全罩型最少； C 、活动：动作时的发尘量一般达到静止时间3-7 倍； D 、清洗：用溶剂洗涤的发尘量降至用一般水清洗的五分之一。 室内维护结构表面发尘量，以地面为准，大约相应8 平方米地面时的表面发 尘量与一个静止的人的发尘量相当。 2、发菌量 分析国外试验资料可以认为： （１）洁净室内当工作人员穿无菌服时： 静止时的发菌量一般为10-300 个/min.人 躯体一般活动时的发菌量为 150-1000 个/min.人 快步行走时的发菌量为 900-2500 个/min.人 （２）咳嗽一次一般为 70~700 个/ min.人 喷嚏一次一般为 4000~62000 个/ min.人 （３）穿平常衣服时发菌量 3300~62000 个/ min.人 （４）无口罩发菌量:有口罩发菌量 1:7~1:14 （５）发菌量：发尘量 1:500~1:1000 据国内事例： （６）手术中人员发菌量 878 个/ min.人 所以，可知洁净室内无菌衣人员的静态发菌量一般不超过 300 个/ min. 人，动态发菌量一般不超过1000 个/ min/人，以此作为计算依据是可行的。 二、洁净室的等级 世界各国均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准209为多， 以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比 较。 209E 与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单 位，洁净室等级以‵M′字头表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此 类推，配合国际公制单位之标准化，M字母后之阿拉伯数目字是以每 立方公尺中=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，取指数 为之，若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间，则以1.5、2.5、 3.5….表示。 美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英尺为单位，日本则是 采用公制，即以每立方公尺为单位，以 0.1μm 微粒子为计数标准。 日本标准之表示法以Class 1 ，Class 2，Class 3……Class8 表示， 最好的等级为Class 1，最差则为Class 8，以每立方公尺中微尘粒 子总数中化为10 的幂次方，取其指数而得。 ISO 14644-1标准 国际标准化组织ISO正在制定洁净室的系列标准，它涵盖了洁净室的重要项目，例如 设计、测试、运行、生物污染等。1999年出版了其第一个标准ISO14644-1，题为“空气洁净 度等级“并给出了洁净室分级方法。 ISO 的洁净室级别按下述公式计算： 其中： Cn为大于等于选定粒径之粒子的最大允许浓度（粒子数量/每立方米空气） Cn 四舍五入至整数，非零有效数字不超过3个。 N是ISO的级别数字，不大于9。可规定ISO 的中等级别，等级差最小为0.1。 D是所选定的粒径，以μm为量纲的常数。 任何选定粒径的悬浮粒子之最大允许浓度，也就是级别，都