一种多晶硅还原炉桶底座自动清洁装置.pdfVIP

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  • 2023-04-15 发布于四川
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一种多晶硅还原炉桶底座自动清洁装置.pdf

本实用新型公开一种多晶硅还原炉桶底座自动清洁装置,包括基座A、清洁组件和吸尘组件,所述清洁组件设置在基座A的前端,包括集尘罩,集尘罩内设置有气动打磨组件,所述集尘罩的顶部设置有吸尘管连接口,用于连接吸尘组件。本实用新型的清洁装置,清洁组件在高压气体的推动下对还原炉桶底座的硅粉进行打磨吹扫,吹扫起的硅粉被吸尘组件吸取,实现自动无尘清洁。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215700652 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202121886461.5 (22)申请日 2021.08.12 (73)专利权人 成

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