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一种光刻胶储存容器及其储存方法.pdfVIP

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  • 2023-04-23 发布于北京
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一种光刻胶储存容器及其储存方法.pdf

    本申请公开了一种光刻胶储存容器，包括：第一储存容器，顶部设置有光刻胶进口以及第一气泡排出口；第二储存容器，其底部与第一储存容器底部组成连通结构，第二储存容器外壁设置有光电传感器。本申请还提供一种光刻胶储存容器的储存方法。在补液的过程中由于第二储存容器底部与第一储存容器底部组成连通结构的存在，使流入第二储存容器内的光刻胶不存在气泡，因此解决了光刻胶储存容器由于气泡干扰光电传感器发生设备频繁报警的问题。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113968425 A (43)申请公布日 2022.01.25 (21)申请号 202111344776.1 (22)申请日 2021.11.15 (71)申请人 华

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