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- 2023-04-24 发布于北京
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本发明涉及用于切割加工工件(2)的方法，包括：沿预给定的切割轮廓(18a)切割加工工件(2)，以及检查在切割加工时工件部分(17)是否完全从剩余部分(19)分离。一方面，如在检查时确定工件部分未完全从剩余部分分离，则沿相对于预给定的切割轮廓(18a)横向错开的另一切割轮廓(18b)重新切割加工工件。另一方面，检查工件部分是否已从剩余部分分离包括：将脉冲式的加工射束在检查位置处照射到工件上，探测通过加工射束和工件之间的相互作用产生的辐射，以及评估探测到的辐射以检查工件部分是否已完全从剩余部分分离，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114012246 A
(43)申请公布日 2022.02.08
(21)申请号 202111411460.X (51)Int.Cl.
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