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《微机电系统》教学大纲 课程编号： 0306017 课程性质： 专业课 学时学分：/ 32/2 适用专业： 机械电子工程 一、课程简介 《微机电系统》是一门以微传感器、微执行器为主要内容的课程,所涉及的很多知识多 是当前十分活跃的研究领域之一，该领域技术被广泛应用于机械制造、信息工程、医学工程、 武器装备和日常生活之中，因此，对从事机械制造的工程技术人员来说，学习和掌握该知识 有着重要的意义。本课程主要介绍MEMS 的基本概念、常用材料、工作原理、分析方法、 设计方法、加工工艺、表面特性、检测技术、主要应用以及COMSOL 软件、MEMS仿真模 块。通过本课程的学习，提供有关MEMS 的基础知识，为进一步研究MEMS打好基础。 Micro electro mechanical system is a micro sensor,micro actuator for the main content of the course.Knowledge ofthis course is one ofthevery activeresearch fields.Thetechnology is widely used in machinery manufacturing, information engineering, medical engineering, weaponry and daily life. Therefore, it is important to study and grasp the knowledge of engineering and technical personnel engaged in the manufacture of machinery. This course mainly introducesthebasic concept ofMEMS,the commonly usedmaterials,workingprinciple, design method, analysis method, processing technology, surface characteristics, detection technology, main application and the COMSOL software, MEMS simulation module. Through the studying of this course, students can get the basic knowledge about MEMS, and a good basisfor furtherresearchMEMSisfounded. 二、教学目的与要求 本课程的教学目标及要求是，通过该课程的教学使学生了解制造工程领域技术的新发 展，掌握一定的制造工程领域的最新知识，培养学生的微小机械的设计和制造能力，提高学 生的创新思维意识。通过该课程的教学使学生掌握或了解微机电系统的相关基础知识，为后 续工作中的技术水平的提高和发展奠定一定的基础。同时，将微机电系统领域的新理论、新 方法、新技术等传授给学生。并使学生理解并掌握微机电系统领域理论体系及相关产品在实 际中的应用情况。 三、教学重点与难点 教学重点： 1、微机电系统的常用材料，包括硅、硅化物、砷化镓、陶瓷、形状记忆合金、磁致伸 缩材料、变流体等； 2、微机电系统的固体力学问题，包括尺寸效应、梁的力学问题、膜的力学问题、机械 振动粘附力等； 263 3、为机电系统中的机械加工技术，包括微电子加工、精密加工和特种加工； 4、微机电系统的工作原理，包括微传感器、微加速度计和微陀螺仪、微执行器等； 5、微机电系统的应用。 教学难点： 1、微机电系统的固体力学问题，包括尺寸效应、梁的力学问题、膜的力学问题、机械 振动粘附力等； 2、微机电系统的工作原理，包括微传感器、微加速度计和微陀螺仪、微执行器等。 四、教学方法与手段 教学方法： 课堂教学中采用先整体、后局部，先理念、后技能的方式。课程基本知识采用系统讲授 法，便于短时间内传递较丰富的知识，容量大，效率高；采用演示法教学，让学生积极参与， 使知识掌握更深刻、更准确；对一些重