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2023-04-27 发布于北京
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基板传送装置.pdf

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本申请提供了一种基板传送装置，包括夹板机构和平面移动台，夹板机构包括：支撑底板；两套滚轮组件，用于配合支撑基板的相对两侧；以及，两套夹持组件，分别安装于支撑底板的相对两侧，用于将基板的相对两侧抵压固定于对应滚轮组件上，以使各夹持组件与对应滚轮组件配合夹持固定基板的侧边。本申请提供的基板传送装置，通过在支撑底板的两侧分别设置滚轮组件，通过滚轮组件来支撑基板，以降低基板相对支撑底板的重心高度，并设置夹持组件与滚轮组件配合夹持固定基板，进而便于平面移动台驱动夹板机构平稳且精准移动，进而带动基板平稳且精

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114148699 A (43)申请公布日 2022.03.08 (21)申请号 202111677582.3 (22)申请日 2021.12.31 (71)申请人深圳新益昌科技股份有限公司