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本申请提供了一种半导体清洗设备的控制系统、方法、电子设备及存储介质，所述控制系统包括至少一个控制器、通信模块、数据采集模块以及清洗设备；控制器用于接收来自通信模块发送的通过数据采集模块所获取的清洗设备的性能参数，在确定获取到的工作模式为远程模式时，根据性能参数确定是否生成控制指令，若确定生成控制指令，根据工艺参数生成对应的控制指令，并将控制指令发送给通信模块；通信模块再将控制指令发送给清洗设备；清洗设备接收到控制指令后执行相应功能。采用本申请提供的技术方案能够通过控制器分别与数据采集模块和清洗设
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114281049 A
(43)申请公布日 2022.04.05
(21)申请号 202111636112.2
(22)申请日 2021.12.29
(71)申请人 苏州赛美特科技有限公司
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用户编号：7160061112000031
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