- 1、本文档共17页,其中可免费阅读16页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本申请提供了一种半导体清洗设备的控制系统、方法、电子设备及存储介质,所述控制系统包括至少一个控制器、通信模块、数据采集模块以及清洗设备;控制器用于接收来自通信模块发送的通过数据采集模块所获取的清洗设备的性能参数,在确定获取到的工作模式为远程模式时,根据性能参数确定是否生成控制指令,若确定生成控制指令,根据工艺参数生成对应的控制指令,并将控制指令发送给通信模块;通信模块再将控制指令发送给清洗设备;清洗设备接收到控制指令后执行相应功能。采用本申请提供的技术方案能够通过控制器分别与数据采集模块和清洗设
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114281049 A
(43)申请公布日 2022.04.05
(21)申请号 202111636112.2
(22)申请日 2021.12.29
(71)申请人 苏州赛美特科技有限公司
您可能关注的文档
- 用于避免久坐的桌椅受力自动计时升降提示系统及方法.pdf
- 一种基于全局有向图的商品会话序列推荐方法.pdf
- 一种基于内存算法的撮合系统.pdf
- 一种高低温冲击韧性10Ni3MoVD钢锻件的热处理方法.pdf
- 闭路循环水加热系统及其方法.pdf
- 一种用于慢阻肺康复训练的专用设备及其使用方法.pdf
- 一种实木家具生产制作方法及其制备方法.pdf
- 探针调节机构.pdf
- 一种显示设备、控制装置及控制装置的低电量提示方法.pdf
- 一种PET抗静电聚醚型复合材料.pdf
- 《GB/T 32879-2025电动汽车更换用电池箱连接器》.pdf
- 中国国家标准 GB/T 21649.2-2025粒度分析 图像分析法 第2部分: 动态图像分析法.pdf
- 中国国家标准 GB/T 20899.9-2025金矿石化学分析方法 第9部分:碳量的测定.pdf
- 《GB/T 20899.9-2025金矿石化学分析方法 第9部分:碳量的测定》.pdf
- GB/T 20899.9-2025金矿石化学分析方法 第9部分:碳量的测定.pdf
- 《GB/T 33820-2025金属材料 延性试验 多孔状和蜂窝状金属高速压缩试验方法》.pdf
- GB/T 33820-2025金属材料 延性试验 多孔状和蜂窝状金属高速压缩试验方法.pdf
- 中国国家标准 GB/T 33820-2025金属材料 延性试验 多孔状和蜂窝状金属高速压缩试验方法.pdf
- GB/T 45910-2025信息技术 生物特征识别模板保护方案的性能测试.pdf
- 《GB/T 45910-2025信息技术 生物特征识别模板保护方案的性能测试》.pdf
提供农业、铸造、给排水、测量、发电等专利信息的免费检索和下载;后续我们还将提供提供专利申请、专利复审、专利交易、专利年费缴纳、专利权恢复等更多专利服务。并持续更新最新专利内容,完善相关专利服务,助您在专利查询、专利应用、专利学习查找、专利申请等方面用得开心、用得满意!
文档评论(0)