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本发明公开一种变频氧传感器，包括依次叠设的加热层、第二气体通道层、第二固体电解质层、腔室层、第一固体电解质层、第一气体通道层和敏感电极引脚层；腔室层和第一固体电解质层间有第一公共电极，和第二固体电解质层间有第二公共电极，第一固体电解质层和第一气体通道层间有外电极，第二固体电解质层和第二气体通道层间有内电极，加热层和第二气体通道间有加热器，用于加热外电极、第一公共电极、第二公共电极及内电极；加热层、第二气体通道层、第一气体通道层和敏感电极引脚层材质为氧化铝陶瓷，第二固体电解质层、腔室层和第一固体电
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114384136 A
(43)申请公布日 2022.04.22
(21)申请号 202210046427.X
(22)申请日 2022.01.14
(71)申请人 中国科学技术大学先进技术研究院
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