磁栅精度校准检测装置及其检测方法.pdfVIP

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  • 2023-05-11 发布于四川
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磁栅精度校准检测装置及其检测方法.pdf

本发明公开了一种磁栅精度校准检测装置及其检测方法,属于直线计量元件精度检测设备技术领域,本发明设置有基座,其上部布设有气浮导轨;气浮滑块与所述气浮导轨滑动连接;所述基座上形成有与所述气浮导轨平行的用于容纳待检磁栅带的导向槽,所述气浮滑块装设有磁栅读数头;以及两个光栅带,其装设在所述基座上并对称地分布在所述导向槽两侧,所述光栅带、的光栅读数头、设置于所述气浮滑块上,从而驱动所述气浮滑块使两个所述光栅带、形成第一基准轴线和第二基准轴线双基准校准所述待检磁栅带,本发明实现了在对磁栅尺进行精度检测时,使

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114577103 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202210185310.X (22)申请日 2022.02.28 (66)本国优先权数据 202111141152.X

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