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本发明公开了一种薄膜表面沉铜用高稳定镀液及其制备方法,涉及化学镀铜技术领域。本发明在制备薄膜表面沉铜用高稳定镀液时,先将丙烯酸甲酯和二乙烯三胺反应制得预聚体,将1‑氨基‑5‑己烯和预聚体进行初步聚合,再加入预聚体进行支化聚合制得超支化络合剂,将甲基二硅氧烷和八甲基环四硅氧烷反应制得单端含氢硅油,将超支化络合剂和单端含氢硅油反应制得改性超支化络合剂,将无水硫酸铜、甲醛、改性超支化络合剂、二甲苯、纯水、2,2‑联吡啶和2‑巯基苯并噻唑混合,调节pH后制得薄膜表面沉铜用高稳定镀液。本发明制备的薄膜表
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114703469 A
(43)申请公布日 2022.07.05
(21)申请号 202210387563.5
(22)申请日 2022.04.14
(71)申请人 江苏矽智半导体科技有限公司
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