原创力文档- 13
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- 2023-05-17 发布于四川
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本发明公开了基于飞秒激光辅助湿法刻蚀制备光纤端面微透镜阵列技术，包括以下步骤：S10将无芯光纤与普通单模光纤熔接后，将无芯光纤进行切割；S20通过飞秒激光诱导无芯光纤折射率改性；S30配置浓度为5％‑10％的氢氟酸溶液；S40将氢氟酸溶液倒入腐蚀装置后，通过水浴法将氢氟酸溶液加热到40℃‑50℃；S50无芯光纤待腐蚀端面通过腐蚀装置中的夹具固定后将其插入氢氟酸溶液中；S60对腐蚀装置中的氢氟酸溶液进行搅拌使氢氟酸溶液始终处于流动状态；S70清除烘干。与现有的技术相比，本发明具有如下优点：解决了现
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114815066 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202210270873.9
(22)申请日 2022.03.18
(71)申请人 中山市精量光电子科技有限公司
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