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一种电性测试结构以及包含其的晶圆.pdfVIP

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  • 2023-05-17 发布于四川
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一种电性测试结构以及包含其的晶圆.pdf

    本发明公开一种电性测试结构以及包含其的晶圆。本发明实施例的电性测试结构包括：衬底，包括分别沿行和列方向排布的第一有源区，在行方向上第一有源区的宽度各不相同；形成在第一有源区上方的沿列方向排列的栅极结构，在列方向上栅极结构的宽度各不相同并且栅极结构在行方向上延伸从而与行方向上的第一有源区在衬底上的投影交叠形成MOS管，交叠区两侧的第一有源区分别构成MOS管的源极和漏极；源极测试垫，同一行的源极电连接到同一源极测试垫；漏极测试垫，同一列的漏极电连接到同一漏极测试垫；栅极测试垫，每个栅极结构电连接到对

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114823628 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210333665.9 (22)申请日 2022.03.31 (71)申请人 北京燕东微电子科技有限公司 地址

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