1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种基于多变量时序数据重构确定异常的方法.pdfVIP

  • 4
  • 0
  • 约1.31万字
  • 约 11页
  • 2023-05-18 发布于四川
  • 举报

一种基于多变量时序数据重构确定异常的方法.pdf

    本发明涉及一种基于多变量时序数据重构确定异常的方法，包括：获取多变量时序数据，所述时序数据为半导体制造过程中设备的多个传感器产生的数据；使用变分自编码器VAE的编码器，对所述时序数据中对应于目标时间窗的目标子序列进行编码，得到隐空间中的编码序列；使用自注意力模型对所述编码序列在时间维度上进行基于自注意力机制的处理，得到注意力表征；使用变分自编码器VAE的解码器对所述注意力表征进行解码，得到对所述目标子序列的重构数据；将所述目标子序列与所述重构数据在所述目标时间窗的最后一个时间点上所对应的数据进行

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116127391 A (43)申请公布日 2023.05.16 (21)申请号 202310321642.0 G06N 3/08 (2023.01) (22)申请日 2023.03.2

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >