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- 2023-05-24 发布于四川
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一种工件储存系统、储存工件的方法、及使用其传输工件的方法。储存在加工半导体元件时使用的工件的方法包括将工件设置在工件载具上、经由工件储存系统将具有工件的工件载具设置在工件容器中、识别工件容器的内容物、以及经由工件储存系统来根据工件容器的内容物调节工件容器内部的储存条件。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 110875228 A
(43)申请公布日
2020.03.10
(21)申请号 20191
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