一种新型宽幅等离子表面处理装置.pdfVIP

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2023-05-26 发布于四川
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一种新型宽幅等离子表面处理装置.pdf

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本发明公开了一种新型宽幅等离子表面处理装置，包括封闭的箱体和工作台，电离区中间设有电极，电极设置于箱体中间的电极腔内，电极的两端连接外部高压电源装置，所述电极为一横向放置的圆柱状长电极，其外部包覆一陶瓷绝缘件，所述电极腔和电极之间设有供工作气体通过的间隙，电极腔上端设有进气通道连接进气区的混气腔，电极腔下端设有等离子通道连接出气区，所述出气区口设有与等离子通道连接的等离子出口，本发明的新型宽幅等离子表面处理装置具有以下优点：由于长条电极的设置使其处理宽度加大，解决了单一喷嘴生产效率低的的问题，同

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112291915 A (43)申请公布日 2021.01.29 (21)申请号 202011361832.8 (22)申请日 2020.11.28 (66)本国优先权数据 2020102