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第1页/共53页透射电子显学习第2页/共53页120kV高衬度透射电子显微镜（High contrast TEM） 300kV场发射透射电子显微镜（FE Transmission Electron Microscope） 第3页/共53页电子光学基础一、光学显微镜的分辨本领 分辨率是指成像物体上能清晰分辨出来的两个物点之间最小距离。 光学显微镜的分辨率为： 光学显微镜的分辨本领取决于照明光源的波长，而可见光的波长有限(200nm-770nm) ，因此，光学显微镜的分辨本领极限为200nm，不能再次提高。第4页/共53页提高透镜的分辨本领：增大数值孔径是困难的和有限的，唯有寻找比可见光波长更短的光源才能解决这个问题。1924年，德布罗意（De Brolie)计算出电子波的波长，发现其波长比可见光短十万倍。1926年，布施(Busch)指出轴对称非均匀磁场能使电子波聚焦。1933年间，德国的鲁斯卡(Ruska) 等研制成功世界上第一台电子显微镜。第5页/共53页二、电子波的波长第6页/共53页 显然，v越大，λ越小，电子的运动速度与电镜中阴阳极之间的加速电压（U伏特）有关。即： ②第7页/共53页第8页/共53页三、电磁透镜第9页/共53页 电子可以凭借轴对称的非均匀电场、磁场的力，使其会聚或发散，从而达到成象的目的。电磁透镜包括静电透镜和磁透镜两种： 静电透镜 ——利用静电场（电场强度不随时间变化的电场）产生旋转对称（轴对称)的等电位面簇的电极装置。第10页/共53页 磁透镜 ——产生旋转对称的非均匀磁场的磁 极装置。① 短线圈磁透镜（最简单的磁透镜）第11页/共53页第12页/共53页带有极鞋的磁透镜② 带铁壳和极靴的磁透镜第13页/共53页 短线圈、带铁壳和极靴的磁透镜轴向磁场强度分布第14页/共53页四、电磁透镜的像差第15页/共53页2?r0QL1αDf透镜L1R透镜αL2屏DiL2Qi 景深示意图焦长示意图α象平面2?r0 M2M?r0五、电磁透镜的景深和焦长第16页/共53页§7.1 透射电镜的结构及应用透射电子显微镜（ Transmission electron microscope TEM） 是用聚焦电子束作照明源，使用对电子束透明的薄膜试样，以透过试样的透射电子束或衍射电子束所形成的图像来分析试样内部的显微组织结构的仪器。1. 透射电子显微镜的结构 （1）电子光学系统； （2）真空系统； （3）供电(电源)系统； （4）操作控制系统。第17页/共53页1. 透射电子显微镜的结构第18页/共53页1. 透射电子显微镜的结构真空系统电子光学系统分为照明系统、样品室、成像系统、观察与记录系统第19页/共53页1. 透射电子显微镜的结构操作控制系统第20页/共53页阴极（接负高压）控制极（比阴极负100～1000伏）阳极电子束聚光镜试样 照明部分示意图1. 透射电子显微镜的结构（1）电子光学系统 1）照明系统 组成：电子枪、聚光镜 和相应的平移和对中及 倾斜调节装置。 作用: 是提供光源（控制其稳定度、照明强度和照明孔径角）；选择照明方式（明场或暗场成像）。第21页/共53页阳极电子枪的结构1. 透射电子显微镜的结构 电子枪通常采用发夹式热阴极三级电子枪，由阴极、栅极和阳极构成。① 阴极：又称灯丝，一般是由0.03～0.1毫米的钨丝作成V或Y形状。② 阳极：加速从阴极发射出的电子。为了安全，一般都是阳极接地，阴极带有负高压。第22页/共53页1. 透射电子显微镜的结构③ 控制栅极： 作用：会聚电子束；控制电子束电流大小，调节象的亮度。 阴极、阳极和控制栅极决定着电子发射的数目及其动能，因此， 人们习惯上把它们通称为“电子枪”。 电子枪的重要性仅次于物镜。决定像的亮度、图像稳定度和穿透样品的能力。 聚光镜：由于电子之间的斥力和阳极小孔的发散作用，电子束穿过阳极小孔后，又逐渐变粗，射到试样上仍然过大。聚光镜就是为克服这种缺陷加入的。 作用：增强电子束密度和再一次将发散的电子会聚起来。第23页/共53页1. 透射电子显微镜的结构 多为磁透镜，调节其电流控制照明亮度、照明 孔径角和束斑大小。 高性能TEM采用双聚光 镜系统，提高照明效果。第24页/共53页1. 透射电子显微镜的结构 2）样品室包括样品杆、样品杯及样品台；样品台的作用是承载样品，并使样品能在物镜极鞋孔内作平移、倾斜、旋转，以选择感兴趣的样品区或位向进行观察分析。样品杆必须使样品铜网牢固地夹持在样品台中并保持良好的热、电接触，减少因电子照射引起的热或电荷堆积而产生样品的损伤或图像漂移。样品台有顶插式和侧插式；一般高分辨型电镜采用顶插式，分析型采用侧插式。第25页/共53页1. 透射电子显微镜的结构第26页/共53页1. 透射电子显微镜的结构 3）成像系统