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铁电体器件及半导体装置.pdfVIP

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  • 2023-05-28 发布于四川
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铁电体器件及半导体装置.pdf

    提供一种包括具有良好的铁电性的金属氧化物膜的铁电体器件。该铁电体器件包括第一导电体、第一导电体上的金属氧化物膜以及金属氧化物膜上的第二导电体，金属氧化物膜具有铁电性，金属氧化物膜具有结晶结构，结晶结构包括第一层及第二层，第一层包含第一氧及铪，第二层包含第二氧及锆，铪与锆通过第一氧相键合，并且第二氧与锆键合。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116171484 A (43)申请公布日 2023.05.26 (21)申请号 202180064527.9 大嶋和晃　太田将志　古谷一马　

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