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- 2023-06-03 发布于四川
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本发明公开了一种微波功率源、微波等离子体系统、点火方法及自调谐方法，微波功率源包括微波信号发生器，用于产生微波信号；信号调节单元，用于对微波信号的幅度、相位进行调节，并用于加载不同频率与占空比的脉冲信号；半导体放大单元；信号传输与负载检测单元，用于将半导体放大单元放大的微波信号发送至负载，并对发送的微波信号以及由负载产生的微波反射信号进行检测，得到检测采样信号；控制单元，用于接收并分析检测采样信号，以根据分析结果来控制微波信号发生器的信号发射频率和/或控制信号调节单元调节方式。本发明实现自动点火
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112654128 A
(43)申请公布日 2021.04.13
(21)申请号 202011593731.3 H05H 1/00 (2006.01)
(22)申请日 20
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