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本发明属于基础材料领域,涉及晶体生长技术领域,特别涉及一种利用激光环形加热的光纤晶体自动制备系统,包括水冷系统结构、炉体架主体结构、控制结构,水冷系统与炉体结构通过水冷管路相连接,控制结构与其他两部分通过通讯线路及驱动线路相连接并加以控制;炉体架主体结构上安装有光学加热系统、炉膛真空系统、运动系统以及测绘系统,炉膛真空系统内设有朝向束变环装置的密封窗口镜;光学加热系统用于产生激光光束并将该激光光束输入炉膛真空系统;炉膛真空系统中安装有折轴反射及聚焦反射系统;运动系统用于控制馈送棒和籽晶棒进行上下
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112609236 A
(43)申请公布日 2021.04.06
(21)申请号 202011597255.2
(22)申请日 2020.12.29
(71)申请人 中国电子科技集团公司第二十六研
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