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分流器(2)具备第一分流器主体(2a)及第二分流器主体(2b)。第一分流器主体(2a)具有与第一气体流路(43)连通的气体供给室(20a)，第二分流器主体(2b)具有与第二气体流路(44)连通的气体回收室(20b)。第一分流器主体(2a)具有：第一顶板(21a)、第一底板(22a)以及第一侧板(23a)。第一顶板(21a)包含用于使第一气体流路(43)和气体供给室(20a)连通的第一贯通孔(211a)。第二分流器主体(2b)具有：第二顶板(21b)、第二底板(22b)以及第二侧板(23b)。第二
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112640177 A
(43)申请公布日 2021.04.09
(21)申请号 201980001550.6 (74)专利代理机构 北京旭知行专利代理事务所
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