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器皿可以具有至少部分被壁限定的内腔。所述壁具有面向所述内腔的内部表面、外表面以及由所述壁支撑的等离子体增强的化学气相沉积(PECVD)涂层组。所述PECVD涂层组包括使用前体施加的水接触角为从80至180度的水阻挡涂层或层，所述前体包含具有从1至6个碳原子的饱和或不饱和的氟碳化合物前体和具有从1至6个碳原子的饱和或不饱和的烃中的至少一种。任选地，所述涂层组包括从2至1000nm厚的SiOx气体阻挡涂层或层，其中x是如通过x射线光电子能谱(XPS)测量的从1.5至2.9，以及任选地其他相关的涂层。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112639162 A
(43)申请公布日 2021.04.09
(21)申请号 201980022795.7 T ·E ·菲斯克 D ·亨顿
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