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一种绕丝结构及热场温控方法.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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一种绕丝结构及热场温控方法.pdf

    本发明公开了一种绕丝结构及热场温控方法,包括炉丝，所述炉丝由炉口辅热区炉丝、恒温区炉丝和炉尾辅热区炉丝构成，所述炉口辅热区炉丝、恒温区炉丝以及炉尾辅热区炉丝在轴向分别由若干温区炉丝构成，至少一组温区炉丝在圆周方向由至少两组分区构成，各分区分别与电路连接，电路控制各分区所在区域的温度，本发明对炉丝的炉口辅热区炉丝、恒温区炉丝和炉尾辅热区炉丝的温区进行温度控制，保证了炉丝整体温度的均匀性，大大提高了控温能力，本发明将至少一组温区至少分成两组分区，每一分区设定相应的功率，通过热电偶控制功率，使硅片组处

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112747603 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 202011407337.6 (22)申请日 2020.12.04 (71)申请人 深圳

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