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气流分区调控的FFU整流板和调整胶形的涂胶工艺.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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气流分区调控的FFU整流板和调整胶形的涂胶工艺.pdf

    本发明公开了一种气流分区调控的FFU整流板和调整胶形的涂胶工艺，属于光刻胶的涂胶工艺技术领域。分区调控的FFU整流板的可调控区域具有双层可旋转网孔结构，通过调节网孔重合度实现分区控制FFU风速，从而调控匀胶时晶圆所处气流环境，实现胶形的精确调控。本发明的匀胶工艺，可实现配方不做改动下通过分区调控FFU风速方式快速精确调整胶形至预期效果。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112748639 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 20191

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