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本发明涉及一种利用气体循环传热控温的单晶材料生长炉，属于单晶材料制备方法与设备领域，包括支架、固定架、导轨、滑块、蜗轮蜗杆升降机构、炉体、炉体保温段、炉体热平衡内管、热电耦、控制模块、回风管、气流风机、安装板、送料机构；本发明通过在每段炉体保温段对应的炉膛内腔设置炉体热平衡内管，利用气体循环传热控温装置，控制气体在石英安瓶与炉体热平衡内管间循环流动来进行二次传热平衡，减小热电耦缠绕方向与炉膛中心线不垂直造成辐射热不均匀造成的炉膛截面温度波动和轴向温度梯度不均匀性，在炉体内腔获得稳定的温度场和均匀
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112708929 A
(43)申请公布日 2021.04.27
(21)申请号 202011348617.4
(22)申请日 2020.11.26
(71)申请人 云南农业大学
地址
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