一种石英坩埚喷涂用运料设备.pdfVIP

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  • 2023-06-09 发布于四川
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本发明涉及坩埚搬运技术领域,且公开了一种石英坩埚喷涂用运料设备,包括安装座,所述安装座内部的两侧位置均安装有搬运臂,两侧所述搬运臂之间放置有石英坩埚,所述安装座内部安装有调距机构,两侧位置所述搬运臂的侧面上均安装有施力件,所述施力件的内腔中安装有升降台,所述升降台的侧面安装有吸盘,所述升降台的底面安装有一号弹性件,所述升降台的前后侧面均设置有传动机构,所述石英坩埚内设置有内支撑件,所述传动机构与内支撑件连接,所述施力件的内壁安装有偏移块。本发明通过接触件与内支撑件的设置,使得在吸盘失效后,两侧的

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115716021 A (43)申请公布日 2023.02.28 (21)申请号 202211428997.1 (22)申请日 2022.11.15 (71)申请人 谭晓珊 地址 410600 湖南

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