平移式晶圆磨削用砂轮在线修磨装置.pdfVIP

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2023-06-11 发布于四川
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平移式晶圆磨削用砂轮在线修磨装置.pdf

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本发明公开了一种平移式晶圆磨削用砂轮在线修磨装置，属于晶圆加工工具技术领域。该装置包括设置在工作台上的承载台，承载台上方设有平移装置，平移装置通过第一电机与砂轮连接并带动第一电机和砂轮前后移动，承载台上设有真空吸盘，真空吸盘与真空吸管连接，真空吸盘上吸附有修磨工具，承载台上设有驱动修磨工具移动的驱动装置。本发明修磨工具可移动，修磨工具的磨损状态平均且利用率高，阶段时间内无需人工更换修磨工具，提高了砂轮修磨质量还能降低工作人员劳动强度；修磨布可以上下移动，从而可以应对不同直径的砂轮修磨，适应范围广

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112975750 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202110186410.X (22)申请日 2021.02.08 (71)申请人华中科技大学地址

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