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MSF维修培训 H轴原点调整: 　Ｈ轴原点是通过NOZZLE　SHＡFT上端的径向轴承最低的NOZZLＥ来进行调整的，SHAＦT的长度由于在UNIT制造时被制作成±０.0２ ｍm以内，所以有０.０4　mm 偏差量. 　最低NＯZＺLＥ的选定: 　 各NOZZＬE单独选择 （用ＳUB ＣONＴROL单独选定）　，并MANU (ON／OＦF）　上下动作，通过打在NＯZZLE下面的百分表的动作来进行判定 （需使用ＪＩＧ,加在被测HEＡD上),选出位置最低的HＥAD　ＳHAFＴ。 　 　　 　　 　 　 　　 　 　 JIG 　 来回旋转，微调。注意:连轴未锁紧前,不可放松，否则H轴会落下。2. 以最低NOZZL为基准，通过ＮＣ MOVING,设定H　= ０(ORG 0.10１)，通过手动下降（手盘ＯN ／ OFF）,使得百分表摆动为0。1mm，即Ｈ轴PLATE与NＯZZLＥ上端ＣＯLLER的间隙为０.１mm。 　 来回旋转，微调。注意:连轴未锁紧前,不可放松，否则H轴会落下。 丝杠 丝杠 连轴节 连轴节 ? 　松开H ＭOTOR连轴节（Ｍ3)，旋转上部内六角扳手,调整最低NOZZＬE下端百分表显示为0。1ｍm ? 　松开H ＭOTOR连轴节（Ｍ3)，旋转上部内六角扳手,调整最低NOZZＬE下端百分表显示为0。1ｍm. Ｈ　ＭＯTOＲ Ｈ　ＭＯTOＲ ３。 H轴吸着高度的确认： 　　　　以最低NOZZL为基准，使用 NOＺZＬE　JIＧ 　　 　 　　 　 　 　 　ＰIＣKＵP HＩＧH　ＪIG 　 JＯG方式,H =　— 40　 GＡＰ = 0。5 ｍm 如没有JIG测量，可采用FEEDEＲ ＪOG方式，Ｈ　=　—39。5 ＧAＰ ＝ ０。5　mｍ HEAD ＵＮIT　平行度调整： （ ±0.０２ mｍ ) 调整螺丝 调整螺丝 略松4粒紧固螺丝　　 　 　 　 　 　 A 　　B 略松4粒紧固螺丝 调整步骤: ＪOＧ方式检测Ａ / B点，平行度：±0.02 mm 　 　 　　 　 如果ＮG，略松4粒紧固螺丝，调整HEAＤ上部的两粒反吊螺丝。 　　 　 　 　 右旋：ＨEＡＤ ＵNIＴ 上升 　 　 　　 左旋：HEAD ＵNIT　下降 调整完毕,锁紧4粒紧固螺丝。 5.　NOZＺLＥ　HEＩGHＴ调整： 　为保证所有ＨＥAＤ下端ＮOＺZLE高度一致，公差0。０５ ｍｍ范围内.可以通过加减垫 片(黄），以中间值作为基准，做适当调整. 例如: 8＃为最低NOZＺＬＥ, 0。０３—０．０4 = －0.0１ 　 　9＃为最高ＮOZZＬE，－０.１1＋０。05　＝ —0.0６ HEAＤ １ 2 3 4 5 6 ７ ８ ９ 10 测量值 ０ —0.02 -0．08 -0。０5 －0。０7 —0。02 0．０1 ０．０３ -０．11 —0。07 调整后 －0.04 -0.0３ -0.01 -0.0６ －0。03 **＊“调整后栏空格处为数据不变 注意：1。 必须用最低点NOＺZＬＥ作为基准，目的为了防止压下过量。 　 ２.　H (0．101,ORG）位置,当有多个最低点时，Ｈ轴ＭＯＶE方式，整体下降０.1　mm， 　直至找出最低点NOＺＺＬE。 　 3. 放上JＩG调整,保证每个ＨEAＤ的原点位置。 6。 H轴SENSOR位置确认： Ｈ轴位置及状态： H　= 0。101 ＯＲG（LEVEL 2） 　Ｈ = —3１ LEVEL １ H　= －35 　X - Ｙ ＩＮTEＲLOＣK H ＝ —4０ RＥCOＧNIＴＩＯN，　VACUUM, MＯUNT H　=　－4３ X Y NOZZLＥ CHANGE 　H　= -４６ 　ＴRAＹ VＡCUUM 　 　 　 　 　 ＋LIMＩT (0。５ ～ 1.5）（ＯＮ?OFF) (914SA1) 　　 　 　 　 　　 　ＯRＧ (OFＦ) （９14S１） 　　 　　 　　 　　　　　 　 　 　X　-Y　ＩNTERLOCK （—３4.7~ -３5.0)(ＯFF?OＮ) 　 　 　　 　 　 　 　 　　　 　　 　 （914S1) 　 　　 　 　　 　 ＡREA SENSＯR （LE