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- 2023-06-17 发布于四川
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公开了通过使用由减法金属化实现的拼合来制造金属化层Mx的互连布置结构的方法。示例性方法包括提供金属层和在金属层之上的收集层。该方法然后包括通过如下方式形成用于两组金属线的开口：执行第一光刻工艺以在收集层中提供用于第一组线的第一开口，并且然后执行第二光刻工艺以在收集层中提供用于第二组线的第二开口。该方法还包括执行第三光刻工艺以提供与第一轨道的第一开口中的至少一个和第二轨道的第二开口中的至少一个交叠的另一开口(拼合部开口)，并且最后，将第一开口、第二开口和拼合部开口的图案转移到金属层。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114496983 A
(43)申请公布日 2022.05.13
(21)申请号 202111112667.7
(22)申请日 2021.09.23
(30)优先权数据
17/080,880 2020
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