半导体装置.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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本发明的目的在于提供半导体装置,其适于低成本化,不使RBSOA等的破坏耐量降低,能够降低FWD动作时的恢复损耗。具有:FWD区域,其形成于基板,在该基板的上表面侧具有p型阳极区域、p型杂质浓度比该p型阳极区域高的第一p型接触区域、第一沟槽;IGBT区域,其形成于该基板,在俯视观察时隔着边界区域将该FWD区域包围,在该基板的上表面侧具有n型发射极区域、第二p型接触区域、第二沟槽;以及外周区域,其在俯视观察时将该FWD区域、该边界区域和该IGBT区域包围,该第一沟槽在俯视观察时沿该FWD区域的外缘形

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114512439 A (43)申请公布日 2022.05.17 (21)申请号 202111332602.3 (22)申请日 2021.11.11 (30)优先权数据

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