- 1、本文档共18页,其中可免费阅读17页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供一种基板处理方法和基板处理装置,在交替地层叠有硅层和硅锗层的基板的处理中恰当地对作为绝缘膜的间隔膜进行去除。在交替地层叠有硅膜和硅锗膜的基板的处理方法中,至少在所述硅膜和所述硅锗膜的侧面形成有低介电常数的间隔膜,所述基板处理方法包括以下工序:通过使用远程等离子体被进行了自由基化的含氧气体来在所述间隔膜的表层形成氧化膜;以及对所形成的所述氧化膜进行蚀刻去除。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113380618 A
(43)申请公布日 2021.09.10
(21)申请号 202110234823.0
(22)申请日 2021.03.03
(30)优先权数据
2020-0413
您可能关注的文档
- 一种电气车间的危险源快速寻找识别装置.pdf
- 冰箱.pdf
- 装卸车辆的振动抑制系统及装卸车辆.pdf
- 数据收集装置.pdf
- 一种基于可再生能源及锂电池供电的智能游乐系统.pdf
- 一种D类放大器.pdf
- 基于主瓣校正的FDA距离模糊杂波抑制方法.pdf
- 改造抗体及其制造方法、以及提高抗体的热稳定性的方法.pdf
- 一种配合装配式吊顶使用的龙骨挂件及安装方法.pdf
- 具有交联的有机聚合物添加剂的不含二氧化钛的调色剂添加剂配制物.pdf
- 2024-2025学年初中信息技术(信息科技)七年级上册浙教版(2020)教学设计合集.docx
- 2024-2025学年初中英语九年级上册仁爱科普版(2024)教学设计合集.docx
- 2024-2025学年高中物理必修 第一册人教版(2019)教学设计合集.docx
- 2024-2025学年小学美术一年级上册(2024)岭南版(2024)教学设计合集.docx
- 2024-2025学年初中数学七年级下册苏科版(2024)教学设计合集.docx
- 2024-2025学年小学美术三年级上册岭南版(2024)教学设计合集.docx
- 2024-2025学年小学信息技术(信息科技)五年级下册川教版(2019)教学设计合集.docx
- 2024-2025学年小学信息技术(信息科技)第六册泰山版(2018)教学设计合集.docx
- 武术教案高一上学期体育与健康人教版.docx
- 2024-2025学年小学综合实践活动二年级下册沪科黔科版教学设计合集.docx
文档评论(0)