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- 2023-06-22 发布于四川
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本发明提供一种基板量测系统及其方法，该基板测量系统用于量测一基板上的线路信息，该基板量测系统包括一第一影像捕获设备、一第二影像捕获设备、一检测平台以及一处理装置。该第一影像捕获设备设置于该基板的俯视方向侧，用以获取该基板的一俯视影像。该第二影像捕获设备设置于该基板的侧视方向侧，用以获取该基板的一侧视影像。该检测平台用以调整该基板、该第一影像捕获设备以及该第二影像捕获设备之间的相对位置关系。该处理装置接收并根据该俯视影像及该侧视影像，产生该基板上的线路信息。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113390894 A
(43)申请公布日 2021.09.14
(21)申请号 202110209119.X G01B 11/06 (2006.01)
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