薄膜制备与表面分析.pptxVIP

薄膜制备与表面分析第1页/共98页 AES ?? Auger效应随着科学技术的不断发展，使Auger电子能谱仪的性能不断改进，并出现了扫描Auger电子显微术(SAM), 成为微区分析的有力工具。电子计算机的引入，使Auger电子能谱仪的功能更趋完善。目前， Auger电子能谱已成为许多科学领域和工业应用中的最重要的表面分析手段之一。 第2页/共98页 AES ?? Auger效应Auger过程 Energy sourceEjected core electronOuter electron fills core level holeTransfer of excess energyAuger electron emitted第3页/共98页 AES ?? Auger效应Auger过程 (a) KL1L3 Auger 跃迁 (b) K?1 辐射跃迁 第4页/共98页 AES ?? Auger效应Auger过程 Core levelsEVIncident BeamEjected core level electronAuger electron emissionEVElectron fills core level hole第5页/共98页 AES ?? Auger效应Auger效应在原子内某一内层电子电离而形成空位(如K层)，则该电离原子的去激发可以有两种方式：一个能量较高态的电子填充该空位，同时发出特征X射线，即辐射跃迁。一个较高能量的电子跃迁到空位，同时另一个电子被激发发射，这是一无辐射跃迁过程，这一过程被称为Auger效应,被发射的电子称为Auger电子。 第6页/共98页 AES ?? Auger效应Auger跃迁 Auger跃迁的标记以空位、 跃迁电子、发射电子所在的能级为基础。如初态空位在K能级，L1能级上的一个电子向下跃迁填充K空位，同时激发L3上的一个电子发射出去便记为KL1L3。一般地说，任意一种Auger过程均可用WiXpYq来表示。 此处，Wi, Xp和Yq代表所对应的电子轨道。 第7页/共98页 AES ?? Auger效应电子能级、X射线能级和电子数 3d5/23d3/23p3/23p1/23s1/22p3/22p1/22s1/21s1/2??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ?????????M5M4M3M2M1L3L2L1K第8页/共98页 AES ?? Auger效应电子能级、X射线能级和电子数 4f5/24f5/24d5/24d3/24p3/24p1/24s1/2??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????N7N6N5N4N3N2N1第9页/共98页 AES ?? Auger效应如果终态空位之一(跃迁电子) 与初态空位处于同一主壳层，即WiXpYq (pq)，则称为Coster-Kronig跃迁或C-K跃迁。C-K跃迁是一种快过程，根据测不准关系?E??t?h可知C-K过程中的?E比较大，因此，表现在能谱上是一个比较宽的Auger峰。若两个终态空位都与初态空位处于同一主壳层， 即WiXpYq 型跃迁(pi，qi)，称为超C-K跃迁。 第10页/共98页 AES ?? Auger效应在实用的Auger电子能谱仪中，初态空位的产生是通过具有一定能量的电子束轰击样品表面而实现的。用于表面分析的Auger电子的能量一般在0~2000eV之间。第11页/共98页 AES ?? Auger效应Perkin-Elmer公司的Auger电子能谱手册，其中给出了各种原子不同系列的Auger峰位置。每种元素的各种Auger电子的能量是识别该元素的重要依据。第12页/共98页 AES ?? Auger电子的能量和产额 Auger电子能量的半经验方法 Auger过程和能量守恒定律可以想到对于WXY过程，Auger电子的能量应为：?EWXY(Z) = EW(Z) ?EX(Z) ?EY(Z) ??A?其中EW(Z), EX(Z), EY(Z)是各壳中电子的结合能，?A 是脱出功。 第13页/共98页 AES ?? Auger电子的能量和产额Auger电子能量的半经验方法 因为对于Auger过程，Y能级电子克服的是离化原子的该能级的结合能EY(Z) = EY(Z??)，?的确切值介于1/2?3/4之间。即EWXY(Z) = EW(Z)