扫描电镜的成像过程.pptVIP

§4-3 反差 反差定义为：C=（Smax-Smin）/Smax Smax、Smin代表扫描光栅中任意两点上被检测到的信号。 C为正数 0≤C≤1 反差代表与样品性质有关信号中的信息，这些性质是我们要测定的。 在电子束与样品的相互作用过程中，样品的形貌、成分、晶体取向、导 电等性质，产生的信号强度不同，电子图像上出现不同的亮度差别，这就是图像的反差（衬度）。 1.成分反差（背散射电子信号） 利用背散射电子信号能够得到样品中不同区域内平均原子序数的相 对差别，这种反差称为“成分反差”。检测信号S∝η 第三十页，共四十四页，2022年，8月28日 a.η随Z（化合物时为平均原子序数）单调增加，所以样品中平均原子序数高的区域比原子序数低的区域亮 b.原子序数相差小的两元素产生的反差低，原子序数差别较大的两元素的反差要大得多。如AL和Si的反差为0.067，Al和Au的反差为0.69 c.对元素周期表中的各相邻两元素来说，当原子序数增加时，原子序数反差减少，这是由于η和Z的关系曲线的斜率随Z的增加而下降所致。如AL－ Si的反差为0.067， Au和Pt的反差则降低到0.041。 二次电子信号成分反差不明显，因二次电子系数不随原 子序数而显著变化。 第三十一页，共四十四页，2022年，8月28日 第一页，共四十四页，2022年，8月28日 　　散射是由于电子束与样品的原子和电子相互作用而产生 的电子束路径或能量的变化，或者两者同时发生。 　　截面或散射事件的几率：Ｑ＝Ｎ/ｎｔｎｉ　（ｃｍ２） 　　Ｎ为单位体积中发生散射事件的数目 　　ｎｔ为单位体积中靶位的数目 　　ｎｉ为单位面积中的入射粒子数 　　ｃｍ２理解为一个原子在给定的相互作用中的有效面积 电子在两个特定散射事件中穿行的平均自由程或平均距离： λ＝Ａ/ＮoρＱ(cm) A为原子量No为阿伏伽德罗常数Ｑ为截面 　　 第二页，共四十四页，2022年，8月28日 散射可分为：弹性散射和非弹性散射 １.弹性散射：电子能量无损失，散射角比较大 　弹性散射截面可以用卢瑟福公式描述： 　　　 在高原子序数和低电子能量的情况下易发生弹性散射。 ２.非弹性散射：电子将能量交换给靶的电子和原子，一次散射角比较小。 非弹性散射过程和扫描电镜有关的有： a.等离子激发 激发“自由电子气”以波的形式出现 b.二次电子 激发导带中松散结合的电子，出射能量为0-50ev c.内壳层电离 激发内壳层电子，在激发过程中发出特征X射线 d.韧致辐射 在靶的库伦场中减速，发出连续谱X射线 e.声子激发 引起样品温度升高（晶格振动） 单个过程的截面获得困难，可以用能量损失关系来讨论 低原子序数易发生非弹性散射 第三页，共四十四页，2022年，8月28日 相互作用区 1.实验依据：由实验可得到相互作用区的轮廓，一种塑料聚 异丁烯酸甲酯（PMMA）在电子束轰击后，经过腐蚀可以观 察到相互作用的轮廓。 2.蒙特卡罗计算： 对于高原子序数 的材料，用蒙特 卡罗电子轨迹模 拟法研究相互作 用区域特别有用。 可以得出相互作 用区在接近电子 束轰击点处有一 个密集的核，而 且沉积的能量沿 径向逐渐减小。 在PMMA中能量沉 积是位置的函数，蒙特 卡罗模拟计算和腐蚀法 实验测定的结果如图 PMMA经电子 轰击后腐蚀，随腐 蚀时间显示的能量 沉积轮廓的变化。 第四页，共四十四页，2022年，8月28日 相互作用区的线性体积a.随原子序数的增加而减小； b.随电子束能量的增加而增加；c.电子束与样品的 角度关系是倾斜角增加时，相互作用区变小 对于电子在固体中的穿行距离，即所谓的“电子范 围”有两种常用的模型来考虑： 1.Bethe范围 该范围大于实际范围 2.Kanaya-Okayama范围 Rk-o=0.0276AE01.67/Z0.889ρ（μm） 该范围与实际范围接近 蒙特卡罗电子轨迹模拟图 第五页，共四十四页，2022年，8月28日 电子束激发的各种信号产生的区域 第六页，共四十四页，2022年，8月28日 背散射电子 70%的束电子在相互作用区消耗掉所有的能量，30% 的电子则从样品散射出来，这些从新出射的电子称为背散射 电子。出射的背散射电子带有在某个深度范围上的样品的性 质的信息。 背散射电子系数 定义为背散射电子数NBS除以入射到 靶位上的电子数NB。 1.背散射电子数随着原子序数的增加而增加 2.背散射电子数随