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一种形变矫正机构及形变矫正装置.pdfVIP

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  • 2023-07-01 发布于四川
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一种形变矫正机构及形变矫正装置.pdf

    本申请提供了一种形变矫正机构，包括：动力模块，第一传递模块，第二传递模块，所述动力模块用于产生动力；所述第一传递模块为可产生形变的柔性机构，所述第一传递模块一端和动力模块相连，另一端和第二传递模块的一端连接；所述第二传递模块为弹性材料，第二传递模块的另一端与待矫正部件接触。本申请中采用的电磁结构产生力来校正掩模的系统具有结构紧凑，可以做到比较小的尺寸，电磁力通过电流来控制，可以实现高精度控制，而且电流可以近乎连续变化，故可以实现力的近乎连续变化，这个为控制掩模形变带来可极大的精准性和效率提升。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116364629 A (43)申请公布日 2023.06.30 (21)申请号 202211705943.5 (22)申请日 2022.12.29 (71)申请人 天府兴隆湖实验室 地址 6102

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