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应用于晶圆盒承载装置的承载盘.pdfVIP

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  • 2023-07-01 发布于四川
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应用于晶圆盒承载装置的承载盘.pdf

    一种应用于晶圆盒承载装置的承载盘，包含：本体，设置于晶圆盒承载装置上；第一导槽，设置在本体的下侧，第一导槽设有第一切换件带动第一气嘴上下移动切换位置；第二导槽，设置在本体的下侧，第二导槽设有第二切换件带动第二气嘴上下移动切换位置；第三导槽，设置于本体的上侧，第三导槽设有第三切换件带动第三气嘴斜向移动切换位置；及第四导槽，设置于本体的上侧，第四导槽设有第四切换件带动第四气嘴斜向移动切换位置，第一气嘴、第二气嘴、第三气嘴及第四气嘴移动至对应晶圆传送盒的底部的气孔位置对晶圆传送盒进行充气或是排气。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116364612 A (43)申请公布日 2023.06.30 (21)申请号 202210565700.X (22)申请日 2022.05.23 (66)本国优先权数据 202123351607.9

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