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- 2023-07-02 发布于四川
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本发明涉及一种基于二维碲烯/二维电子气异质结的二极管及其制备方法，属于半导体技术领域。本发明将二维碲烯转移至钛酸锶衬底表面，再通过氩离子束轰击在钛酸锶衬底表面诱导出二维电子气，与二维碲烯接触形成范德华异质结。本发明所述的二维碲烯纳米线/二维电子气异质结、二维碲烯纳米片/二维电子气异质结的正向电流比反向电流分别高出103和107倍，两者均具有良好的二极管整流特性。本发明所述的二极管具有很高的稳定性，即便负向电压高达‑100V，也无法将其击穿。这种异质结二极管结构简单、制备简单、性能优良，可广泛运用
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113725284 A
(43)申请公布日 2021.11.30
(21)申请号 202111006739.X
(22)申请日 2021.08.30
(71)申请人 苏州科技大学
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