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其次章 电阻应变式传感器
第一节 电阻应变式传感器概述
电阻应变式传感器是利用金属的电阻应变效应制造的一种测量微小变化量〔机械〕的 传感器。将电阻应变片粘接到各种弹性敏感元件上,可构成测量力、压力、力矩、位移、加速度等各种参数的电阻应变式传感器。它是目前用于测量力、力矩、压力、加速度、重量等参数最广泛的传感器之一。虽然型传感器不断消灭,为测量技术开拓了的领域。但是, 由于电阻应变测试技术具有以下独特优点,可以预见在今后它仍将是一种主要的测试手段。
这类传感器构造简洁,使用便利,性能稳定、牢靠;
易于实现测试过程自动化和多点同步测量、远距测量和遥测;
灵敏度高,测量速度快,适合静态、动态测量;
可以测量各种物理量。
因此在航空航天、机械、化工、交通、建筑、医学、汽车工业等领域有很广的应用。 电阻应变式传感器由弹性敏感元件与电阻应变片构成。弹性敏感元件在感受被测量时将
产生变形,其外表产生应变。而粘结在弹性敏感元件外表上的电阻应变片将随着弹性敏感元件产生应变,因此,电阻应变片的电阻值也产生相应的变化。这样,通过测量电阻应变片的电阻值变化,就可以确定被测量的大小了。
弹性敏感元件的作用就是传感器组成中的敏感元件,要依据被测参数来设计或选择它的 构造形式。电阻应变片的作用就是传感器中的转换元件,是电阻应变式传感器的核心元件。
电阻应变式传感器的根本原理是将被测量的变化转换成传感器元件电阻值的变化,再经 过转换电路变成电信号输出。其类型很多,常用来测量力、压力、位移、应变、扭矩、加速度等,是目前使用最广泛的传感器之一。
其次节 电阻应变片
— 材料的应变效应
导电材料的电阻与材料的电阻率、几何尺寸(长度与截面积)有关,在外力作用下发生气械变形,引起该导电材料的电阻值发生变化,这种现象称为电阻应变效应。
设有一段长为l ,截面积为 A,电阻率为? 的导体(如金属丝),它在未受外力时的原始
电阻为:
lR ? ? ? l
l
A = ? r 2 (2-1)
式中 ? —— 电阻丝的电阻率,单位为Ω.m;
l ——电阻丝的长度,单位为m;
A——电阻丝截面积,单位为m2;
当金属丝在轴向外力 F 作用下,而被拉伸(或压缩)时,其 l、A 和ρ均发生变化,如图2-1 所示,因而导体的电阻随之发生变化。通过对式(2-1)两边取对数后再作微分,即可求得其电阻相对变化:
图 2-1 导体受拉伸后的参数变化
dR ? dl ? dA ? d?
?
R l A ? (2-2)
假设电阻丝是圆的,则 A ? ? ? r 2 , r 为电阻丝的半径,对r 微分得dA ? 2? ? rdr ,则
dA ?
A
2?r ? dr
? ? r 2
? 2 dr
r 〔2-3〕
dl ? ?
令 l
dr
x 为材料的轴向应变, r
? ?
y 为金属丝径向应变。轴向应变和径向应变的关系可
表示为:
? ? ???
y x
(2-4)
式中? ——金属材料的泊松系数。
dA ?
而 A
2?r ? dr
? ? r 2
? 2 dr
r
代入式(2-2)可得:
dR ? (1 ? 2?)? ?
R x
d?
? (2-5)
对于金属导体或半导体,上式中右末项电阻率相对变化的受力效应是不一样的,分别争论如下: 1 金属材料的应变电阻效应
勃底特兹明通过试验争论觉察,金属材料的电阻率相对变化与其体积相对变化之间有如下关系:
d? dV
? ? C V
(2-6)
式中 C——由肯定的材料和加工方式打算的常数;
dV dl
?
? dA ? (1 ? 2?)?
V l A x
(2-7)
代入式(2-5),并考虑到实际上ΔR/R,故可得:
dR ? ?(1 ? 2?) ? C(1 ? 2?)??
R x
? K ?
m x
(2-8)
K ? (1 ? 2?) ? C(1 ? 2?)
式中 m ——金属丝材的应变灵敏系数(简称灵敏系数)。
上式说明:金属材料的电阻相对变化与其线应变成正比。这就是金属材料的应变电阻效应。
K ? K ? (1 ? 2?) ? C(1 ? 2?)
对于金属材料, 0 m 。可见它由两局部组成:前局部为受
力后金属丝几何尺寸变化所致,一般金属μ≈0.3,因此(1+2μ)≈1.6;后局部为电阻率随应变而变的局部。以康铜为例,C≈1,C(1-2μ)≈0.4,所以此时 K0=Km≈2.0。明显,金属丝材的应变电阻效应以构造尺寸变化为主。对其他金属或合金, Km=1.8~4.8。
2 半导体材料的应变电阻效应
史密兹等学者很早觉察,锗、硅等单晶半导体材料受到应力作用时,其电阻率会发生变化,这种现象就称为压阻效应。半导体材料的压阻效应:
d? ? ?? ? ? ? E?
?
x
(2-9)
式中:
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