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一种高结晶性单相高熵氮化物涂层及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-07-22 发布于四川
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一种高结晶性单相高熵氮化物涂层及其制备方法.pdf

    本发明公开了一种高结晶性单相高熵氮化物涂层及其制备方法，属于涂层技术领域，该涂层包括的元素为Al、Cr、Ti、Nb、Hf和N，涂层为单一面心立方结构；该涂层的制备方法为：在Ar和N2气氛中，使用单极高功率脉冲磁控溅射的方法溅射Al25Cr25Ti25Nb25合金靶和使用双极高功率脉冲磁控溅射的方法溅射Hf金属靶，涂层沉积过程中，基体接地。本发明涂层为单一面心立方结构，结晶性强，符合高熵氮化物的强化标准。本发明涂层的制备方法无需对基体进行加热，可节省生产成本，另外，该方法可有效避免Ar离子加速引起

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114959616 A (43)申请公布日 2022.08.30 (21)申请号 202210725010.6 (22)申请日 2022.06.23 (71)申请人 贵州大学 地址 550025 贵州

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