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第十扫描电子显微镜演示文稿 当前第1页\共有26页\编于星期三\11点 优选第十扫描电子显微镜 当前第2页\共有26页\编于星期三\11点 当高速电子照射到固体样品表面时，就可以发生相互作用，产生一次电子的弹性散射，二次电子，等信息。 这些信息与样品表面的几何形状以及化学成份等有很大的关系。 通过这些信息的解析就可以获得表面形貌和化学成份的目的。 9.2 扫描电镜成像主要电子信息 样　　品 入射电子 Auger电子 阴极发光 背散射电子 二次电子 X射线 透射电子 当前第3页\共有26页\编于星期三\11点 （1）二次电子 定义：在入射电子的轰击下被迫离开试样表面的试样的核外电子 只有试样表层下5~10nm范围内激发出的二次电子，才有可能逸出试样表面 它对试样表面形貌敏感,主要用于显示试样的表面形貌 当前第4页\共有26页\编于星期三\11点 （2）背散射电子 定义：背散射电子是指入射电子与样品相互作用(弹性和非弹性散射)之后，再次逸出样品表面的高能电子，其能量接近于入射电子能量( E。)。背射电子的产额随样品的原子序数增大而增加，所以背散射电子信号的强度与样品的化学组成有关，即与组成样品的各元素平均原子序数有关。 当前第5页\共有26页\编于星期三\11点 （3）特征X射线 当试样内原子核外的内层电子被激发时，外层电子跃迁而填补内层空位时就会释放特征X射线 特征X射线一般在试样内的500nm-5000nm深处发生 用X射线探测器探测表面微区存在的相应元素 当前第6页\共有26页\编于星期三\11点 （4）俄歇电子 定义：若试样中原子核外内层电子被激发,入射电子在激发特征X射线过程中，外层电子跃迁填补内层空位时能量的释放将相邻的电子激发出去，该电子称俄歇电子 在距离表面1nm左右范围内的俄歇电子才能逸出表面 适用于做表面成分分析 当前第7页\共有26页\编于星期三\11点 （5）相应扫描电镜成像 二次电子象 背散射电子象 俄歇电子能谱 透射电子象等 当前第8页\共有26页\编于星期三\11点 9.3.1 扫描电镜的工作原理 电子枪发射电子束?经过聚光汇聚成细小的电子束斑?在扫描线圈的作用下使电子束在样品上扫描?试样在电子束 的作用下产生二次电子等各种物理信号?探测器接受信号，经过信号处理放大系统?显象管栅极以调制显象管的亮度。 9.3 扫描电镜工作原理、构造和性能 当前第9页\共有26页\编于星期三\11点 扫描电镜原理示意图 当前第10页\共有26页\编于星期三\11点 光学显微镜、TEM、SEM成像原理比较 当前第11页\共有26页\编于星期三\11点 扫描电镜的构造 （1）电子光学系统 该系统的组成：由电子枪、电磁透镜、光阑、样品室等部件组成 该系统的作用：仅仅用来获得电子束 当前第12页\共有26页\编于星期三\11点 扫描线圈：使电子做光栅状扫描，并保证电子束在样品上的扫描与显象管上的扫描同步。该扫描线圈与显象管内的扫描线圈由同一锯齿波发生器控制，线圈内设置两个偏转线圈控制扫描电子束的扫描方向。 当前第13页\共有26页\编于星期三\11点 （2）信号收集系统 作用：检测样品在入射电子作用下产生的物理信号，然后经视频放大作为显像系统的调制信号。 (a)二次电子和背散射电子收集器 （b） 吸收电子检测器 试样不直接接地，而与一个试样电流放大器相接，可检出被测试样吸收的电子。 (c) X射线检测器 检测试样发出的元素特征x射线波长和光子能量，从而实现对试样微区进行成分分析。 当前第14页\共有26页\编于星期三\11点 （4）样品室和真空系统 扫描电镜的样品室比透射电镜复杂，体现在它能够容纳大块的试样（如直径20?10mm），观察时样品台可在三维空间进行移动、倾斜、旋转。 （3）信号显示系统 当前第15页\共有26页\编于星期三\11点 新式的扫描电镜在样品台上可以对样品进行加热、冷却、拉伸等实验。 当前第16页\共有26页\编于星期三\11点 使用 ESEM 模式和 Peltier 冷台有利于稳定样品 ,否则很难成像 润滑脂 当前第17页\共有26页\编于星期三\11点 加热样品可达1500 °C 水冷却可获得最佳的稳定性 Hotstage热台 当前第18页\共有26页\编于星期三\11点 拉伸台 当前第19页\共有26页\编于星期三\11点