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一 、 技術资料 1.1 技術规格表 1.1.1 PB 系列真空泵浦技術规格表 機型 Model 單位 Unit PB-026-S/N PB-026-A/H PB-150-S/N PB-150-A/H 抽氣速度 Pumping Speed (50HZ/60HZ) L/min 2000/2600 12500/15000 m3/hr 130/156 750/900 Cfm 77/92 442/530 終極壓力 Ultimate Pressure Torr ≤7.5×103 ≤7.5×10? mBar ≤1×102 ≤1×103 Pa ≤1 ≤0.1 水冷 密封 馬達 Moter 頻率Frequency 電壓Voltage 功率Power Hz 50/60 Hp 6 6+4 kW 4.47 4.47+2.98 連接 Connection 進氣口Inlet NW50 ISO100 排氯口Outlet NW40 NW40 冷卻水 Cooling Water 流量Flow L/min 3~7 gal/min 0.8~1.9 壓力Pressure kg/cm2 2.0~4 温度Temperature C 18~30 接頭Connection RC 3/8 氮氣 N2 Purge Pressure MPa 0.05~0.2 Purge Flow sl/min 0~60 Connection Sw